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参赛项目名称 45-22nm集成式光学临界尺度(OCD)在线检测设备
单位名称 中国科学院微电子研究所、北京智朗芯光科技有限公司 法人代表 叶甜春
报名地区 北京地区 协会会员
技术领域 其他
项目类别 专利
专利情况 申请号 201110427603.6 申请日期 1111-11-11
专利号 1111111111111 授权日期 1111-11-11
专利类型 发明 职务发明
计算机软件著作权证书登记号
技术资料 技术方案报告或论文
附件 专利证书复印件, 项目应用报告
项目简介

1. 发明目的、基本思路、与现有技术对比有什么改进与创新(限20-350字内)

1.采用全反射结构设计的聚焦和成像光学系统,具有独特的偏振控制技术,突破反射过程偏振态变化的难题。克服了采用透射式技术色差缺点,保持了反射系统中宽反射光谱和无色差的特性,实现了宽光谱(200-1000nm)下的小光斑(<50um)并且偏振可控。该系统已经应用在光谱偏振反射仪,光谱椭圆偏振仪系统中;进一步可以拓展到如光谱成像型椭偏仪、偏振成像系统等更多应用领域。2.最新的设计集成了参考光束、实时光斑和样片同时成像,数值回归校准技术等创新技术;实现更好的稳定性、准确性和易用性。3.BEI-Solver是独立开发的一款具有自主知识产权的OCD及薄膜测量分析软件。

2. 已取得的社会及经济效益,如:产值、利润、节约能源及改善环境等方面(限20-250字内)

光谱反射系统(SR)光谱范围200-1000nm,全反射光学设计量测Pad大小:50微米薄膜量测重复性1:<0.3(100A)<0.2(3000A)薄膜量测准确性1:<0.3%(3000A)CD量测重复性1:顶部CD<3A,深度<2A(STI沟槽)单波长椭圆偏振系统(SWE)(可选)薄膜量测重复性1

3. 发展前景及对推动社会发展和人民生活改善的作用(限20-150字内)

项目设备自身及延伸出的中低端设备今年已经产生约200万RMB订单,随着今年产品的逐步成熟完善,年底和明年预计会有稳定增长。

项目进展阶段 技术方案
项目已投入资金
(单位:元)
总额 自 筹 贷 款 科技拨款 其 他
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备注